Silicon on insulator: Różnice pomiędzy wersjami
[wersja przejrzana] | [wersja nieprzejrzana] |
Usunięta treść Dodana treść
roszerzenie opisu, trochę styl, zalety, dokładniejszy opis procesu |
int. |
||
Linia 15:
Technologia została opatentowana przez International Business Machine ([[IBM]]) oraz [[Soitec]].
Zwykle podłoża tego typu to podłoża krzemowe z warstwą izolacyjnego [[tlenek krzemu(IV)|tlenku krzemu(IV)]] i krzemu na wierzchu. Jedną z metod wytwarzania tego typu podłoży jest implantacja monokrystalicznych podłoży krzemowych tlenem tylko na określonej głębokości. Kolejnym etapem jest wygrzewanie, w wyniku
Wśród innych metod wytwarzania podłoży SOI można także wymienić metodę gdzie powierzchnia krzemu jest utleniana. Następnie podłoże implantuje się wodorem i bonduje do drugiego podłoża. W odpowiednich warunkach zaimplantowany wodór tworzy w krzemie pęcherze gazu powodując jego kontrolowane pękania (tzw. smart cut).
|