Silicon on insulator: Różnice pomiędzy wersjami

[wersja przejrzana][wersja nieprzejrzana]
Usunięta treść Dodana treść
roszerzenie opisu, trochę styl, zalety, dokładniejszy opis procesu
int.
Linia 15:
Technologia została opatentowana przez International Business Machine ([[IBM]]) oraz [[Soitec]].
 
Zwykle podłoża tego typu to podłoża krzemowe z warstwą izolacyjnego [[tlenek krzemu(IV)|tlenku krzemu(IV)]] i krzemu na wierzchu. Jedną z metod wytwarzania tego typu podłoży jest implantacja monokrystalicznych podłoży krzemowych tlenem tylko na określonej głębokości. Kolejnym etapem jest wygrzewanie, w wyniku, którego warstwa o zwiększonej zawartości tleny przekształca się w warstwę tlenku krzemu. W ten sposób wierzchnia warstwa krzemu zostaje odizolowana od podłoża. Ta metoda jest wykorzystywana między innymi przez [[Advanced Micro Devices|AMD]] do budowy układów o wymiarze charakterystycznym tranzystora 180 [[nanometr|nm]], 130 nm, 90 nm, 65 nm oraz 45 nm.
 
Wśród innych metod wytwarzania podłoży SOI można także wymienić metodę gdzie powierzchnia krzemu jest utleniana. Następnie podłoże implantuje się wodorem i bonduje do drugiego podłoża. W odpowiednich warunkach zaimplantowany wodór tworzy w krzemie pęcherze gazu powodując jego kontrolowane pękania (tzw. smart cut).